要回答这个问题，先把“纳米”和“工艺节点”分清楚。光刻机是把电路图案印在晶圆上的设备，直接决定晶体管的最小可转印尺寸，也就是芯片的理论上限。现在最炙手可热的关键词是极紫外光刻机（EUV）和尚在量产路上的高数值孔径...